“顾松去沪海了？”

田德宇点了点头“说是过去处理流片和工艺的前期工作。我担心，沪海私底下提什么条件。”

柳良木沉吟了一会“避免不了。武湖的基础确实比别人差，但芯火科技已经确定落户武湖，我们把该做的工作做好。先把规划好的地尽快安排程序，把基建工作做好。德宇，明天他的助理和负责筹建的廖总一起过来，这一趟考察，关系到厂区的设计规划什么时候能出来，要麻烦你协调好各单位了。”

“我会盯紧的。”

柳良木说道“暂时先兼着这个工作，你挂帅光电产业带的规划，服务好芯火科技的尽快落地。相关课题的科研这一块，还要组织武湖的科研院所研究一下，能不能尽量多参与一些。这件事关乎中湖百年发展，下一阶段还有更重的担子要交给你。”

田德宇心中一动，平静地说“这个事情我一定尽心尽责，不负省里的重托。”

柳良木停了一下，问道“顾松有没有提到，什么时候回中湖？”

“说是沪海行程结束后，会回燕京一趟，参加完公司年会就回永宁。时间估计是20号左右。”

“只有半个月啊……”柳良木蹙着眉头，说道，“芯火科技的奠基赶得上这个时间吗？”

“公司注册的程序、土地拍卖的程序……我来组织吧。”田德宇估摸了一下，还是点了点头。

“好，趁此机会，要把光电产业带的初步规划思路向领导汇报。王邦元老很重视这个项目，不说今年能投产的话，今年内，芯火科技需要建好。争取明年这个时候，光电产业带有一个新的面貌。”

田德宇笑了笑说“那永宁那边也需要加把力了。”

柳良木也露出笑容来“这就看永宁班子的能耐了。顾松是家乡人，他在中湖的规划不少。有些能先落地的，可以开始考虑嘛。”

“回头我和他们聊一聊。”

……

中湖那边担心沪海对顾松有其他拉拢的手段，顾松其实一直泡在沪海微电子装备和华芯国际。

关于浸润式光刻的技术难题，顾松脑子里自然有全套解决方案。

不管是浸润液体的种类，还是浸没方式、气泡消除、污染沉积，都有办法能够解决。

但问题是大数值孔径投影物镜和偏振光的控制。

这两个问题，就涉及到整个光刻机中最昂贵最复杂的部件了。

几十片各种规格的镜片，每一片都得用高纯度透光材料进行高质量抛光，镜片表面稍微有一点曲度不对，或者镜片里的杂质产生衍射折射不对，再聚焦后的图像缺陷会成倍放大。

且不说对镜片材质和加工精度的事，这玩意，采用传统的方式，不论镜头数量如何堆叠、如何搭配，都难以达到浸润式光刻所需要的孔径。

但折反式投影物镜，就更复杂多了。

顾松倒是能给出图纸，但问题是现在造不出来。镜片的研磨、其他零部件加工和组装的精度，都达不到那个水平。

这玩意，难就难在精度。有人曾打过比喻，说相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。

真实的情况比这还要夸张，这可是纳米级的操作，头发丝千分之一的尺度啊。

达到这种精度的镜片，都是手工打磨。一个镜面的表面被分为数万个点，每个点的误差在十位数的纳米级别。

绝对的圣手！

阿斯麦尔也不是万能的，他也是到处采购最好的零部件，最后集成起来的。但问题是，这些最好的零部件，他没法采购到啊。

脑子里是有黑科技全书，可这玩意没办法直接操刀加工。

反倒是偏振光的控制，相对还简单一些，虽然也是非常精密的